AMC空氣分子污染物監測系統

獵戶(hù)座 3100S

AMC空氣分子污染物監測系統

一、AMC空氣分子污染物監測系統 3100S產(chǎn)品介紹：

1、實(shí)踐證明深紫外光刻工藝深受多種類(lèi)微量污染物的影響，對很多微量污染物極為敏感，比如氨氣或者酸性氣體都會(huì )給半導體生產(chǎn)帶來(lái)較大的危害，盡管隨著(zhù)深紫外耐腐蝕材料技術(shù)的發(fā)展，已經(jīng)減少了長(cháng)時(shí)間持續實(shí)時(shí)監測，而實(shí)際上空氣分子污染（AMC）的實(shí)時(shí)測量對產(chǎn)品質(zhì)量的好壞至關(guān)重要。

2、獵戶(hù)座3100S系列空氣分子污染物監測系統基于CEAS（腔增強吸收光譜）技術(shù)連續分析儀器，將增加半導體器件阻抗一致性、保證更長(cháng)的過(guò)濾器壽命、減少生產(chǎn)過(guò)程的停工時(shí)間。

3、ETG HMI（人機交互界面）軟件可以實(shí)時(shí)觀(guān)察、實(shí)時(shí)測量、實(shí)時(shí)操作對不同空間不同位置的NH₃、HCL、HF進(jìn)行分析，軟件專(zhuān)門(mén)針對半導體行業(yè)開(kāi)發(fā)，對于深紫外光刻工藝過(guò)程中監測與控制空氣分子污染（AMC）提供有力的支持，軟件集成了多點(diǎn)采樣（MS）控制功能，具有實(shí)時(shí)顯示數據曲線(xiàn)、報警、存儲、趨勢、歷史曲線(xiàn)、分析等功能。

二、AMC在線(xiàn)監測 獵戶(hù)座 3100S 系統介紹：

1、實(shí)時(shí)監測空氣分子污染（AMC）對于半導體生產(chǎn)過(guò)程極為重要。

2、快速監測、報警、極低濃度測量、寬測量區域、多氣體的高靈敏響應等是半導體工業(yè)要求之一。

3、深紫外光刻工藝特別關(guān)注氨、胺類(lèi)、N-甲基吡咯烷酮NMP、酸類(lèi)等濃度測量，當這些氣體與化學(xué)放大光刻膠反生反應時(shí)，將深深的影響半導體器件質(zhì)量。

4、傳統古老的方法多采用間接測量分析方法。包括撞擊濾塵器、離子色譜、化學(xué)熒光法，這些方法分析速度太慢，操作過(guò)程太復雜，昂貴并且測量結果不準確。

5、ETG采用被證明的CEAS（腔增強吸收光譜）技術(shù)解決AMC（空氣分子污染物）監測難題，可快速測量痕量級NH₃、HCL、HF，采用脈沖熒光法測量SO₂，采用增強型GC-FID測量VOCs。

6、獵戶(hù)座 3100S系列空氣分子污染物監測系統測量痕量級NH₃、HCL、HF并集成了uVOC-CAM特性，是半導體行業(yè)潔凈室AMC（空氣分子污染）測量的有力工具。

7、獵戶(hù)座 3100S也集成了多點(diǎn)監測系統，可依序將氣體抽送到分析儀或傳感器，并讀出測量結果。獵戶(hù)座 3100S內嵌的報警、報告、分析軟件是由多年半導體行業(yè)經(jīng)驗的工程師集體開(kāi)發(fā)。

8、獵戶(hù)座 3100S使用Ethernet、RS485/RS232或4-20mA模擬模塊可以輸出來(lái)自4~6臺分析儀或傳感器的數據。

9、每臺分析儀配有內置計算機（Linux OS），可進(jìn)行數據存儲和數據輸出，還支持遠程網(wǎng)絡(luò )控制，通過(guò)互聯(lián)網(wǎng)可以連接ETG公司總部或者當地經(jīng)銷(xiāo)商服務(wù)商，進(jìn)行操作或者診斷。

10、使用者可以通過(guò)網(wǎng)絡(luò )瀏覽器比如IE、Chrome等世界任意可以聯(lián)網(wǎng)的地方進(jìn)行操作，遠程操作可實(shí)現多級管理權限控制和操作。

獵戶(hù)座 3100S 系統配置圖如下

三、產(chǎn)品特點(diǎn)：

1、增強靈敏度

儀器基于CEAS（腔增強吸收光譜）技術(shù)，極簡(jiǎn)使用、便捷操作，所有部件（包括內置真空泵、鍵盤(pán)、鼠標、顯示器等）幾分鐘內可開(kāi)始記錄數據，其他大氣中的水汽、CO₂、O₂、甲烷等不會(huì )對HCL、HF、NH₃等測量構成交叉干擾。內置計算機可以存儲大量數據到內置硬盤(pán)上，可同過(guò)數字接口或者模擬接口傳輸數據，可通過(guò)互聯(lián)網(wǎng)遠程存儲或記錄數據，高質(zhì)量的數據庫，適合于苛刻的半導體痕量級氣體應用。

2、檢測限/精度 (1-σ)  :HCl 0.1 ppb ; HF 0.1 pp ; NH₃ < 0.1 ppb

快速響應時(shí)間

每個(gè)通道5秒

系統即插即用

系統可在潔凈間幾分鐘內簡(jiǎn)單操作完成

低成本，因CEAS（腔增強吸收光譜）系統不需要特別的維護保養和備品備件，所以很好的降低了使用者成本。

四、CEAS（腔增強吸收光譜）---原理

基于CEAS（腔增強吸收光譜）技術(shù)的儀器原理圖，使用近紅外波段光進(jìn)行高靈敏度吸收測量，測量腔室由一組高反射率多次反射鏡片組成的柱狀體構成，激光束經(jīng)過(guò)固態(tài)校準器（FSR=2.00GHz）時(shí)會(huì )測量得到相對激光波長(cháng)。為了保證清晰度，忽略了原本照射到左側測量單元腔鏡外的光束。